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CVDiam-Equipments

Réacteurs CVDiam® HFCVD

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La gamme complète de réacteurs CVDiam® HFCVD de NeoCoat remplis tous les besoins clients gràce à différentes capacités de dépôt pour des applications à l'échelle laboratoire, de production en grandes séries, pour des applications industrielles ou des projets R&D.

De l'étude de vos besoins à l'installation sur site, nous construisons un projet dédié avec vous et nous vous offrons une solution complète et professionnelle :

  • Equipement HFCVD avec porte-substrat personnalisé
  • Procédés détaillés et documentés
  • Installation dans votre site de production
  • Formation
  • Support technique (maintenance et procédé)

 

Spécifications

CVDiam HF 60 HF 120
Disposition (mm) H x L x l 2000 x 2200 x 1500 2000 x 3700 x 1500
Puissance maximale de dépôt (KW) 60 120
Surface de dépôt (mm) L x l 400 x 580 400 x 1180

 

  • HF60 est le réacteur le plus adapté pour les outils de coupe grâce à une large porte en face avant qui facilite le chargement des posages
  • HF120 a été designée pour les substrats de grandes dimensions

 

Les réacteurs CVDiam® HF peuvent être utilisés soit avec des filaments de tantale ou de tungstène en fonction de vos applications

Les réacteurs avec les procédés NeoCoat® (prétraitement et revêtement) peuvent être utilisés pour fabriquer des couches de diamant avec différentes spécifications : NCD (nanocristallin) – MCD (microcristallin) – différentes épaisseurs


 

Composants principaux

Nos réacteurs à filament chaud CVDiam® sont composés de pièces de qualité provenant des principaux fournisseurs de composants du vide ou conçus/usinés dans des ateliers suisses :

  • Système de maintien et de tension des filaments à l'horizontal
  • Alimentation électrique DC,
  • Cuve double paroi en acier inoxydable,
  • Panneau de gaz (H2, CH4, N2, autres),
  • Système de pompage et de réglage de pression,
  • Automate,
  • Ecran tactile et PC industriel (Windows 11),
  • Interface graphique,
  • Circuit de refroidissement avec échangeur thermique indépendant,
NeoCoat SA  -  Eplatures-Grise 17, CH-2300 La Chaux-de-Fonds, Suisse  -  +41 32 552 04 00           © 2012-2024     Mentions Légales