Composants diamant nanostructurés
![Diamond microdisc 3_bdd-microdisc](http://www.neocoat.ch/plugins/content/plugin_sige/showthumb.php?img=/images/stories/gallery/nanoforms/3_bdd-microdisc.jpg&width=200&height=150&quality=80&ratio=0&crop=1&crop_factor=15&thumbdetail=1)
![Au-MDA chip 4_mda chip](http://www.neocoat.ch/plugins/content/plugin_sige/showthumb.php?img=/images/stories/gallery/nanoforms/4_mda chip.jpg&width=200&height=150&quality=80&ratio=0&crop=1&crop_factor=15&thumbdetail=1)
![6_interdigitated microelectrode 6_interdigitated microelectrode](http://www.neocoat.ch/plugins/content/plugin_sige/showthumb.php?img=/images/stories/gallery/nanoforms/6_interdigitated microelectrode.jpg&width=200&height=150&quality=80&ratio=0&crop=1&crop_factor=15&thumbdetail=1)
Production de composants structurés de diamant ou de diamant-sur-isolant grâce à une technologie de lithographie sans masque :
- L'écriture directe (sans masque) pour la microgravure de couches minces sur wafers (100 à 200 mm) pour réaliser des NANOFORMES
- Procédés de fabrication multiples (traitement silicium, couche de diamant, Si3N4/SiO2 or autres films, gravure sélective...)
- Production simple or multi-wafers
- De la petite série (quelques composants) à la grande série (> 10-100 K puces)
Une exemple d'application sont les réseaux de micro-disques d'électrodes BDD (MDA ou IDA) pour l'analytique haute-perfomance
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